探测效率是X射线光电子能谱仪一个很重要的仪器参数。本文提出了两种测量谱仪探测效率的方法，并对国产的NP-1A型XPS谱仪的探测效率进行了测量。根据谱仪的探测效率曲线可以对原子灵敏度因子进行定标，这对于XPS定量分析具有很重要的应用价值。

应用蒙特卡罗方法，在VC＋＋开发平台下编制了可以自定义NaI晶体尺寸的软件，实现对不同能量的γ射线的探测效率的计算。根据计算得到的数据矩阵拟合出不同体积探测器对点源的效率函数，并确定出函数的参数。

使用大面积塑料闪烁体探测器对γ射线进行探测时会出现远离信号采集端的入射粒子探测效率低的现象，在对大面积塑料闪烁体探测器两端同时进行信号采集的基础上，使用加和器对两路信号加和的测量方法，明显提高了探测效率。