介绍了用于磨床加工的光外差表面粗糙度在线干涉测量仪整机的信号处理系统着重讨论了其中的两项关键 技术即利用负反馈构成的宽动态范围测量信号的自动电压控制以及依据计大数和测小数相结合的高精度动态相位测量系统的测量精度达2.6°(相当于 3.2nm)允许测量中最大多普勒频移±10kHz(对应高度的变化率±8.75×10-3m/s)完全满足磨床加工中表面粗糙度在线测量的要求。现 场测试证实了这一点这对于精加工、超精加工表面粗糙度的在线质量控制、提高加工精度等非常重要。

研制出一种超精加工表面粗糙度的激光测量仪，采用光外差测量原理和共光路二涉仪结构，具有很强的抗外界振动干扰能力，仪器结构简单，测量灵敏度高，纵向分辨率达０．４ｎｍ，横向分辨率达１．７２μｍ。