一等环规测量装置采用He-Ne稳频激光波长作为测量基准,应用干涉条纹进行绝对测量,配以高精度的数字细分电路,使仪器分辨力达到5nm;静态光电显微镜瞄准不确定度为30nm;精密定位技术使其驱动步距达到5nm.