折反射式物镜系统中心误差的计算与分析
以折反射式物镜系统典型产品的结构为例,以像质评价为基准,针对透镜中心误差对像质的贡献量作必要的精度计算和分析,从而对系统中心误差给定的合理性和可行性作了初步的探讨。
共轴光学系统镜框结构设计
共轴光学系统中心误差控制的优劣直接影响了光学系统的最终成像质量,合理的镜框结构有助于中心误差的控制。在总结了设计前需进行的准备工作的基础上,根据光学系统定心精度要求、生产批量和制造中定心基准轴的选定,将镜框结构分成三类,着重阐述了它们的结构特点、优缺点和适用范围,为镜框结构设计提供参考。
大口径精密投影光刻制版镜头的光学装校
对于大口径精密投影光刻制版镜头来说,透镜的应力变形和中心误差对整个系统的成像质量有较大影响.详细介绍了一种减小应力变形的特殊结构和在一种光学装校过程中多镜组整体对接的方法,给出了对接前后的偏心测量数据以及镜头实际曝光的图形.
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