超高精度位置拉制器广泛应用于半导体生产、测量及精密杉撇设备中。许多设备都采用压电致动器(PZTs)，因为它具有高分辨率、刚度好、响应快等特性。然而压电致动器的行程极短，为此，这种致动器往往与其它行程长的致动器结合使用。结果造成该简单机构难以实现长行程的超高精度位置控制。大家熟知的天镬(i，:ehwornl)位置控制器是一种高分辨率、长行程的简单机构.但是它的运动是断续的，这是由于天蝮方法仅用一对进给致动器，夹持和进给运动不能同时进行，而是顺序的，即当一个夹持致动器夹紧导轨时，进给致动器必须停止执行，然后夹持致动器放松导轨。这样顺序地工作。另一种仅用一个致动器采用快速变形方法实现高分辨率、长行程的机构，但是它的运动也是间断的。上述方案中的运动均为不连续的。这是许多应用，诸如精密机械工...