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> 栅型结构
一种栅型结构微机械陀螺的研究
作者:
熊斌
车录锋
王跃林
来源:
中国机械工程
日期: 2023-06-20
人气:11
介绍了一种新型结构微机械陀螺的设计及制作.新型陀螺的驱动振动和敏感检测振动的阻尼均为滑膜阻尼,且几乎相同,惯性质量块为栅型结构,由弹性悬臂梁支撑;驱动固定电极和敏感检测固定电极位于惯性质量块下方.分析了新型陀螺的工作特性,说明了陀螺结构参数对陀螺灵敏度的影响.实验结果表明,在大气状态下,新型栅结构微机械陀螺的驱动和敏感检测品质因子Q均可达到66.
关键词:
栅型结构
角速度传感器
微机械加工技术
微机械陀螺
动力学方程
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