介绍了硅微静电梳状谐振器的静电驱动工作原理，重点提出了基于DSP芯片和DDS技术的智能驱动源系统设计框架。详细分析了数字电路部分的接口技术和模拟电路部分中的微弱信号检测技术。结合实验数据和扫频曲线，指出在不同真空度环境下谐振器的各种扫频方法。

介绍了硅微谐振器系统的工作原理,重点给出了一种基于新型的DDS器件AD9954的智能谐振系统设计与实现.详细分析了AD9954作为智能精密驱动源的粗细搜索两种阶段工作流程并给出与DSP器件的数字接口技术.结合实验数据和扫频曲线,得出在不同真空度环境下谐振器的两种扫频结果,并对谐振系统的工作情况给予评价.

近场扫描光学显微术中，近场距离的检测和控制是需要解决的核心技术之一，本文研究了基于DDS驱动的压电传感器，在一个压电陶瓷片上，电极被分成相同的两部分，分别用于振动驱动和振幅检测，近场扫描的光纤探针固定于此压电陶瓷片上，振动驱动信号采用DDS，在样品的远场时，可以通过频率扫描得到误差在0.006Hz以内的压电陶瓷片谐振频率驱动信号，而当光纤探针处于样品的近场距离之内时，压电陶瓷片的谐振频率偏离驱动信号频率，振幅明显减小，从而检测出近场距离，高精度振动驱动源DDS和高灵敏度压电传感器的采用提高了检测灵敏度和工作稳定性。