介绍了一种光纤探针同时作为光源和探测器的反射式扫描近场光学显微镜，该装置通过采用相干探测，偏振分光等技术克服了该类显微镜所普遍面临的噪声背景干扰问题，具有较高的光学信噪比，并通过样品纵向振动调制锁相实现了对样品表面光强梯度信号的探测成像，进一步改善了成像质量，成像研究表明装置可对近场衰逝分量进行有效探测并实现了超衍射极限成像。

采用光纤探针的扫描近场光学显微镜（ＳＮＯＭ）存在某些弱点，如探针特别脆，不易贴近样品表面扫描，探针的转输效率低等。近年来发展了将ＳＦＭ／ＳＮＯＭ结合起来的扫描探测显微镜。利用微加工工艺技术，将小孔集成在悬臂探针中，使探针既能批量制备，又具有很好的重复性。探针悬臂在垂直于样品表面方向上的弹性常数较小，针尖不易损坏。在接触模式中利用这种ＳＦＭ／ＳＮＯＭ组合探针可将样品的形貌像、摩擦力和光学透射像等信息