由于CMOS、CCD探测器的广泛应用,及其分辨力的提高,人们对视频显微镜的分辨力提出了更高的要求。分析了大视场视频显微镜的像差特点,并利用光学设计软件Zemax进行光学效果的模拟,给出了数值孔径0.05,光学放大倍数0.25,视场直径为31mm,分辨力200万像素光学系统的设计结果。

采用视频显微镜作为显微成像和电子记录的工具进行显策干涉计量，光路简洁，调整方便。用显微云纹干涉系统和显微散斑干涉系统分别测量了物体的面内变形、离面位移和物体的形状。实验结果表明视频显微镜可应用于各种显微干涉计量场合。