碧波液压网 欢迎你,游客。
登录
注册
菜单
门户
文章
液压传动
气压传动
机械工程
测量与控制
期刊
介质与基础理论
液压件与机具
工业液压传动
液压控制技术
水压与液力传动
车辆与工程机械
气动与密封
故障诊断与检测
现代设计方法
机械工程
教程
手册
液压设计手册
机械设计手册
机械设计计算手册
表面工程技术手册
新版机器人技术手册
其它
论坛
登录
注册
门户
>
关键词文章列表
> SU8
基于SU8和PMMA的毛细管电泳芯片制作
作者:
朱学林
熊瑛
刘刚
褚家如
来源:
功能材料与器件学报
日期: 2024-04-26
人气:27
提出了一种简易的基于SU8和PMMA的电泳芯片的制作方法,研究了PMMA基底上SU8胶微管道的光刻和薄膜微电极的lift-off制作工艺,探讨了PMMA材料特性对薄膜微电极和SU8胶光刻的影响,通过热压方法完成芯片的键合封装,实现了一种快速、高质量的电泳芯片制作工艺,同时与电泳芯片的UV-LIGA工艺具有很好的兼容性。
关键词:
SU8
PMMA
毛细管电泳芯片
点击阅读
共1页/1条