本文介绍了在大尺寸测量情况下,利用半导体激光光纤和位相板衍射技术进行准直的原理和方法,理论上分析了高斯光束通过位相板后衍射光场的特点,提出并分析了影响该原理精度的因素,从理论上分析并用计算机仿真验证了该原理在大尺寸形位误差测量中的可行性.