为满足电磁型平面微电机对定子绕组线圈的高深宽比及厚度要求,提出一种利用AZ4903光刻胶制作电磁平面微电机定子绕组的方法.通过反复摸索,得到了该光刻胶的较理想的转速胶膜厚度、前烘时间-温度的关系曲线及合适的曝光、显影时间.制作出了厚度为40 μm、 陡直度良好的定子绕组线圈.把利用该工艺制作的定子绕组和转子装配后形成了微电机,通过对该电机转速和输出力矩的测试结果表明,电机运转平稳、力矩波动小.