目前对精细表面下细小缺陷的无损探测已成为光电检测技术研究领域中的一项难题.根据法拉第电磁感应定律和磁光效应,提出了一种磁光/涡流成像技术,以实现对精细表面下细小缺陷的可视化实时无损检测.文章从基础理论着手,重点对磁光/涡流成像技术的光学系统、脉冲激励、图像采集处理等方面进行了创新和探索.

利用琼斯散射矩阵，借助右手正交基组来表示入射场和散射场，推导出光学元件亚表面缺陷或微粒在不同偏振状态下的双向反射分布函数的表达式。给出了亚表面缺陷在不同入射角条件下，不同偏振状态下的双向反射分布函数与散射方位角之间的关系，以及不同入射角下P偏振入射产生的P偏振双向反射分布函数的3维散射图。结果表明：P偏振入射产生的P偏振双向反射分布函数强烈依赖于入射角、散射角和方位角，且随着入射角的增加，其最小值点所对应的方位角逐渐减小。