设计了一套由4个反射镜组成的非共轴掠入射X射线显微镜，分析了该系统的像差和成像质量。为了研制出高质量的设备，需要制定合理的加工和装配公差。研究了由于元件和结构参数（反射镜的半径，物距，掠入射角等）的误差而引起的高斯参数和像差的变化。首次用点列图和调制传递函数来定量评价图像质量降低的程度，并在此基础上制定了合理的加工和装配公差。在这些公差的约束下，研制成一套非共轴掠入射X射线显微镜，在激光引爆的惯性约束聚变的诊断实验中，用该系统获得了高质量的图像。