基于超声波对流体中悬浮微粒的声辐射力的相关理论和一维多层谐振分离器结构模型，提出了基于二维简正振动模式的微机电系统（MEMS）超声分离器结构模型。这种超声微分离器采用两个反相位的PZT换能器触发声场，端面利用导流槽引流，通过调整分离腔中的声场分布，可以非接触、遥操控地将悬浮微粒从稳定层流形式的悬浮液中分离出来。在（1，1）阶的二维简正模式下，对分离腔的时均压力分布数值仿真验证了分离器结构模型的可行性。

以基于二维简正模式的微机电系统（MEMS）超声分离器的结构模型为研究对象,首先根据声电类比原理,得到超声分离腔的二维等效电路模型,通过该模型分析计算二维简正模式的谐振频率;接着通过Ansys软件对MEMS超声分离器进行有限元的仿真分析,验证了等效电路模型的可行性,并得到了最佳激发频率;最后在实验中分别采用单片PZT激发（2,1）阶和双片反相位PZT激发（1,1）阶的简正模式,均取得了一定分离的效果。