大口径高精度方形平面光学元部件的研制
采用环行抛光技术是实现大尺寸、高面形精度和细表面粗糙度要求的方形或长方形平面元件批量化加工的一条有效途径.介绍了利用环行抛光工艺实际制作了两块320 mm×320 mm×35 mm和320 mm×320 mm×48 mm UBK7材料的工艺实验样品.加工结果是,透射元件获得了镀膜后双次透射波前0.293λ(P-V,λ=0.6328 um)和反射元部件的反射波前0.22λ(P-V,λ=0.6328 um)的结果.
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