本文研究了ISO10110—5表面面形评价参数的算法，建立了与ISO10110—5相应的数字波面分解模型；运用自编的波面拟合程序，完成了泽尼克系数、赛德像差系数、峰谷值、均方根值等常用评价参数和ISO10110—5中提出的弧矢误差、不规则误差、旋转对称不规则误差等参数的计算；通过对同一组波面数据的分析比较，自编程序的计算结果与ZYGO干涉仪的输出结果相一致。

对用波差与表面斜率误差评价光学元件面形误差的方法进行了比较和讨论.以具有不同面形精度的光学元件,在不同的数据处理方法下得到的结果为例,说明此两种面形评价方法在数据处理方法不同时在数值上的联系.