基于相干波面光强分布的静态干涉图的数字分析
提出了基于相干波面光强分布的静态干涉图数字处理的新方法,即在CQG-Ⅱ型激光数字波面干涉仪上通过分别微调参考镜和被测镜的倾斜量,在CCD探测器上获得形成静态干涉图的两幅相干波面光强分布图,利用这两幅光强分布图与它们所形成的干涉图,可高精度地完成静态干涉图的数字分析.利用相干原理,给出了实现该方法的基本过程,并编程实现了该数字分析,获得了实验测量结果.通过与相移测量结果相比较,验证该方法对口径为60mm的平面有望达到的测量精度.
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