通过对微分干涉相衬显微定量测量方法进行研究，提出了一种更有效的相位分析法。即在不对双光束干涉光路进行改造或处理的前提下，通过对光学成像进行处理而得到理想的结果。即把图像中的光强信号转变成相位信号，并通过维纳滤波对噪声进行了消除，最后获得表面微观形貌定量参数。