研制了双成象单元扫描隧道显微镜（ＳＴＭ）可同时对参考样品的原子晶格和被测样品扫描成象，计数原子晶格的数目，即可精确测定被测样品图象的尺度，以原子尺寸实现产格的纳米计算，本文介绍了成象单元的ＳＴＭ的原理和仪器系统，讨论原子尺纳米计量的可行性，给出了被测样品图象的米计量结果。