对几中纳米技术进行了综述。纳米计量仪器由三大部分组成：位移系统、计量系统和探测系统，文中论述了这三个部分的现状及发展趋势。最后介绍了计量院的计量型原子力显微镜及兼容型扫描探针显微镜的特点和技术指标，并给出了测量实例。

纳米计量不仅提供测量和表征纳米材料及器件基础,同时在纳米生产工艺控制和质量管理领域也扮演重要角色.纳米技术就某种意义上讲就是实现原子或分子操作的超精细加工技术.纳米科技的各个领域都涉及对纳米尺度物质的形态、成分、结构及其物理/化学性能(功能)的测量、表征.纳米测量在纳米科技中起着信息采集和分析的不可替代的重要作用.纳米测量技术包括纳米级精度的尺寸和位移的测量,纳米级表面形貌的测量以及纳米级物理与化学特性测量.目前迫切需要解决的问题有微电子、超精密加工中线宽、台阶、膜厚等测量问题、纳米材料中的粒子特征测量问题和作为纳米科技主要测量和操作工具的扫描探针显微镜(SPM)、扫描电子显微镜(SEM)等的特性表征和测量准确度评定.文章重点评述了国际上为建立可溯源于国际基本单位制(SI)的纳米计量体系努...

1引言 扫描探针显微镜(SPM)由于具有纳米甚至原子量级的分辨率,20多年来已引起各个领域科学家们的广泛兴趣.在精密工程领域,它作为一种极具前途的纳米计量工具,已在许多国家受到了广泛的重视,如美国NIST,德国PTB和英国NPL等都相继开展了基于SPM的纳米计量技术研究.但作为纳米级的计量分析仪器,不仅要有高分辨率,更要有纳米级甚至更高的精度.因此需要计量工作者对SPM在纳米计量应用的各个方面有比较全面和深入的了解.本文在SPM图像重建、漂移的在线补偿、纳米定位和三维表面粗糙度测量等方面进行了讨论.