提出了一种使用线阵CCD自动测量小圆孔参数的方法.该方法充分利用了线阵CCD分辨率高的特点,适当的光学设计使两个线阵CCD正交,通过测量小圆孔的夫琅和费衍射条纹,实现了小圆孔半径的一维参数高精度自动测量和圆度误差的二维参数定性自动测量.该方法具有一定的实用价值及应用前景.