金透射光栅广泛用于真空紫外、X射线、物质波的衍射和光谱测量.分别介绍了美国麻省理工学院空间微结构实验室和中国科学技术大学国家同步辐射实验室的透射光栅制作技术及其新进展.麻省理工学院空间微结构实验室为完成AXAF巨型空间天文台上的高能透射光栅谱仪经历了近20年的发展,其光栅制作工艺日趋成熟,代表了当前世界最高水平.中国科学技术大学国家同步辐射实验室为了满足惯性约束核聚变实验研究的需要,在国内较早地开展了透射光栅的研制工作,在提高光栅质量的同时不断提高线密度.

采用全息离子束刻蚀和反应离子刻蚀相结合的新工艺,在熔石英基片上成功地刻蚀出200 l /mm、线空比46、槽深70 nm、刻划面积60×20 mm2的浅槽矩形Laminar光栅.对改进光栅线条粗糙度和线空比的方法进行了系统的研究.这一新工艺相对简单,降低了对干涉系统光学元件和全息曝光显影的严格要求.