提出一种用于检测微位移的新型电涡流传感器。该传感器中，两层微平面线圈叠加在坡莫合金铁芯上，分别作为驱动元件与敏感元件。详细给出了微平面线圈的SU-8胶UV—LIGA工艺与磁性铁芯的电铸成形工艺。当激励电流为50kHz的正弦交流信号，而且检测Ni-Fe片与铁芯间隙为10μm时，敏感线圈的输出电压达30mV，并且间隙值在50μm范围内与输出电压接近为线性关系。传感器尺寸为φ5mm×1．6mm，易于集成，能实现对微位移的检测。

把柔性机构的设计方法——伪刚体法应用于柔性微夹钳的设计中，得到一种新结构形式的电热微夹钳，用UV—LIGA方法进行加工制作，并进行动态性能测试．从对称的平面十杆刚性机构得到其伪刚体模型，对伪刚体模型进行优化并柔性化得到放大20倍的柔性微夹钳钳体，通过仿真验证了设计的正确性和可靠性．V形电热驱动器与柔性钳体集成到一起，形成柔性电热微夹钳．用SU-8胶做电铸铸模，钛和二氧化硅做牺牲层，铜做种子层，在氨基磺酸镍电铸液中进行电铸，加工出最小特征尺寸10μm，厚度30μm的电热镍微夹钳．最后对制作的微夹钳在0～1．5V直流电压下进行动态测试，夹持端位移最大可达24μm．

试验研究了UV-LIGA各工艺环节（包括前后烘、曝光、显影、去胶、电铸等）对金属基片上制造金属微结构器件质量的影响，并组合优化了操作条件和工艺参数。试验结果表明：采用优化后的UV—LIGA工艺条件，制造出的金属微结构器件（如微齿轮、微流道）轮廓清晰，表面质量好，无明显缺陷，与基底结合良好。