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简述一多流量传感的微型电子机械系统

作者: 张为 来源:科技资讯 日期: 2024-01-16 人气:37
微型电子机械系统(MEMS)是当代电子技术的又一重大突破,是近年来发展起来的一种新型多学科交叉的技术,其发展正受到社会的普遍关注.MEMS问世以来,已开发、研制了名种产品,其中尤以传感器类的产品为多.该技术将对未来人类生活产生革命性的影响这些产品已广泛应用于汽车工业、生物医学技术、仪器仪表制造业.本文将扼要介绍具有多种流量传感功能的MEMS.
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