粘附是影响微机电系统（MEMS）可靠性的重要因素之一。针对MEMS的典型产品一微加速度计的粘附问题进行了研究，给出了2种典型的微加速度计的表征粘附特性的剥离数的表达式，并分析了将粘附条件应用于微加速度计的多学科设计优化之中，分析了其对系统结构设计产生的影响。