在由压电陶瓷驱动器驱动的微位移定位系统中,桥式位移放大机构常用来放大压电陶瓷驱动器的输出位移。为获得更高的位移放大倍数,改善桥式机构安装不良易产生寄生位移的问题,设计了一种基于柔性铰链的位移放大机构,该机构是由桥式机构与两个对称布置的Scott-Russell机构组合而成的两级位移放大机构。通过刚度矩阵法建立机构的静力学模型,推导了机构的位移放大比及刚度计算公式,利用拉格朗日动力学方程建立机构的动力学模型及其固有频率,并利用有限元仿真法分析机构建模的正确性。结果表明,该组合式机构的位移放大比为6.11,输入刚度为12.58 N/μm,输出刚度为0.11 N/μm,固有频率为532.52 Hz,与理论值结果基本一致,误差均在10%以内,满足设计要求。

本文介绍了一种在平移过程中倾斜误差远小于秒级的光学精密平移器(以下简称精平移器)的工作原理及应用范围,介绍了该器件的作用原理以及附加的位移平衡装置的作用。对各项性能指标的检测方法及其检测结果也进行了阐述。