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> 林宜平
软X射线接触式显微术研究
作者:
刘毅楠
林宜平
来源:
光学精密工程
日期: 2022-12-13
人气:4
按照生物样品各分辨单元具有多种透过率的特点,设计了一个多衬度的台阶状蛋白质模型,根据曝光量与衬度,信噪比,抗蚀膜性能的关系,确定了曝光量。同时模拟样品模型各台阶的起初成像条件,测量了各台阶所对应的抗包膜显影速率曲线,对显影条件作了定量分析。将曝光量,显影条件,与分辨率紧密结合起来,找到了一种较好的实验方法。
关键词:
软X射线
接触式
显微术
生物样品
抗蚀膜
曝光量
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