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软X射线接触式显微术研究

作者: 刘毅楠 林宜平 来源:光学精密工程 日期: 2022-12-13 人气:4
软X射线接触式显微术研究
按照生物样品各分辨单元具有多种透过率的特点,设计了一个多衬度的台阶状蛋白质模型,根据曝光量与衬度,信噪比,抗蚀膜性能的关系,确定了曝光量。同时模拟样品模型各台阶的起初成像条件,测量了各台阶所对应的抗包膜显影速率曲线,对显影条件作了定量分析。将曝光量,显影条件,与分辨率紧密结合起来,找到了一种较好的实验方法。
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