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> 董静薇
用于晶体生长过程监控的高精确度称重系统设计
作者:
景忠杰
李欣
董静薇
来源:
哈尔滨理工大学学报
日期: 2023-02-09
人气:4
针对晶体制造过程中晶体重量变化缓慢,且其制造过程中,现有称重系统准确度不够的问题,设计了一种在监测晶体生长过程中,重量变化的高精确度称重系统.采用高精确度称重传感器确保测量准确度,采用软件滤波的方法提高系统的抗干扰能力,同时通过系统上位机对晶体生长过程进行实时监控和重量曲线记录。
关键词:
晶体生长过程
称重系统
LTC2400
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