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> 杨笛
SOI光波导器件的研究进展
作者:
陈媛媛
杨笛
吴静珠
孙梅
来源:
北京工商大学学报(自然科学版)
日期: 2022-05-27
人气:1
近年来随着SOI晶片制备技术的成熟,SOI基波导光波导器件的研究日益受到人们的重视.介绍了弯曲波导、光耦合器、可调谐光衰减器、光调制器和光开关等常见的SOI基光波导器件的一些研究进展.
关键词:
SOI
光波导
集成光学
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