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阴极弧离子镀磁过滤器

作者: 李刘合 夏立芳 来源:真空 日期: 2023-12-06 人气:19
阴极弧离子镀磁过滤器
在真空阴极弧离子镀的过程中,在阴极材料表面阴极斑点处的电流密度很大,斑点温度很高,本文介绍了MP’s的形成机理,各种磁过滤器的基本结构和工作原理,并着重介绍90°弯曲弧磁过滤器的特点及离子分布规律。最后,概括介绍了阴极弧离子镀磁过滤器适用范围。
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