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> 夏立芳
阴极弧离子镀磁过滤器
作者:
李刘合
夏立芳
来源:
真空
日期: 2023-12-06
人气:19
在真空阴极弧离子镀的过程中,在阴极材料表面阴极斑点处的电流密度很大,斑点温度很高,本文介绍了MP’s的形成机理,各种磁过滤器的基本结构和工作原理,并着重介绍90°弯曲弧磁过滤器的特点及离子分布规律。最后,概括介绍了阴极弧离子镀磁过滤器适用范围。
关键词:
真空
阴极弧离子镀
宏观粒子团
镀膜
磁过滤器
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