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磁悬浮式微动工作台驱动方案的设计与实现

作者: 陈本永 陈艇 张丽琼 张贵珍 来源:传感技术学报 日期: 2024-08-09 人气:24
磁悬浮式微动工作台驱动方案的设计与实现
磁悬浮式微动工作台由于运动平台和驱动机构采用非接触式的磁悬浮驱动技术而易于实现大范围高精度的微运动.本文论述了磁悬浮式微动工作台驱动电路的主要性能参数、驱动方案的选择,设计了两种驱动电路,并进行了实验研究,最后根据试验结果对两种驱动电路进行分析比较。得出了满足该磁悬浮式微动工作台运动要求的驱动方法,为磁悬浮式微动工作台的整体设计及其控制提供了技术支持.
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