用于超声键合工艺的超声波发生器是引线键合封装设备的主要装置，其核心与关键是频率自动跟踪与锁相速度。文中构建了一种变频式超声波发生器，并对其中的高速锁相进行分析。通过换能器的电流反馈，采用基于嵌入式的数字式真有效值试探算法，超声波发生器锁相速度比传统速度提高数十倍，达到高速锁相的要求，满足了换能系统工作时的高速谐振需求。

用于超声键合工艺的超声波发生器是引线键合封装设备的主要装置，其作用是驱动换能器并使其处于谐振工作状态，多工作频率点是未来换能器发展的一个重要方向。传统超声波发生器不具备多频段频率跟踪功能，该文构建了一种变频式超声波发生器，可动态适应不同特性的换能器，具有通用、应用面广等特性。变频式超声波发生器基于嵌入式系统，采用快捷准确的直接数字频率合成（DDS）及锁相环（PLL）反馈方案，实现自动查找换能器各谐振频率以及频率自动跟踪功能。实践证明，变频式超声波发生器可以驱动各种不同谐振频率的引线键合超声波换能器，并达到换能系统工作时的快速锁相、准确锁频要求。