针对半导体器件、印制电路板等表面形状复杂且易损坏的器件，其表面污物难于清洗的状况，介绍了一种基于SPCE061A单片机控制的超声波清洗机。依据超声波清洗原理，分析了超声波清洗机的工作过程，对超声波清洗机的控制电路、驱动电路、频率自动跟踪技术、阻抗匹配及系统软件设计方法进行了详细介绍。该超声波清洗机可以实现频率自动跟踪、功率调节及定时等功能，另外有振荡、扫描两种工作方式可供选择。实验表明，该超声波清洗机工作可靠，清洗效果好。