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高效MCP二次电子接收器在SEM中的应用

作者: 钱可元 桂裕宗 来源:真空电子技术 日期: 2024-05-07 人气:35
高效MCP二次电子接收器在SEM中的应用
本文详细描述了MCP在SEM中的应用,论述了具体接收器的结构和放大系统的结构性能,给出一系列实验参数及图像的对比结果,证明了MCP接收器完全可以在SEM中高效可靠性替代原有的接收器。
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