介绍了微机械电子系统（MEMS）质量流量计的构造、工作原理、技术特性，探讨了MEMS质量流量计的校准、对前直管段的要求、可靠性和温度性能，实流检测及实际应用。膜式表和MEMS质量流量计的实际应用效果对比显示，MEMS质量流量计比膜式表测量相对误差小，始动流量小。