对三种典型的铝硅双金属驱动膜片结构进行了有限元分析，结果表明，铝硅双金属驱动膜片的结构参数与驱动膜片的弯曲变形方向，中心最大挠度和有效形变体积具有紧密的联系，通过不同的结构设计可以控制驱动膜片结构的弯曲变形方向，另外，通过结构参数优化，可使驱动膜片的中心最大挠度和有效形变体积达到最大值，驱动膜片的性能得到显著提高。