采用宏／微结合双驱动的少自由度并联进给结构，给出了一种光栅拼接装置设计算法。宏动部分是5PTS-1PPS型并联机构，采用步进电机驱动滚珠丝杠形式的进给机构；微动部分是5TSP-1PPS型并联机构，采用压电陶瓷驱动柔性铰链形式的进给机构；二者串联构成光栅拼接机构。计算了宏动部分和微动部分的并联机构自由度，利用并联机构运动学的逆解推导出该装置的控制算法，并根据控制算法进行了宏动、微动机构点位控制的运动学仿真。为了提高机构的定位精度，分析了机构的系统误差并提出了误差修正方法。最后，将以上算法应用到光栅拼接装置中。实验结果表明：宏动部分最大移动定位误差为3．6um，最大转动定位误差为4．4urad；微动部分最大移动定位误差为0．06um，最大转动定位误差为1．2urad；基本满足光栅拼接系统的精度要求。