随着微机电系统的不断发展微流体控制系统已成为目前乃至今后研究的重点问题。微通道内流体流动稳定性对系统结果分析有较大影响消除流体脉动分量研究影响流动稳定性的各因素至关重要。基于数值方法计算了微流体滤波器周期性流动过程分析了周期平均速度、脉动速度振幅、脉动频率对滤波效率的影响。研究表明：微流体滤波器第一级滤波腔的滤波效率受周期平均速度影响较大;周期平均速度相对越大滤波效率越低;而第二、第三级滤波腔的滤波效率受周期平均速度、脉动速度振幅、脉动频率的影响均较小可忽略不计。