液压系统在船上具有广泛应用当液压油污染物中出现粒径大于20 μ m 的颗粒时说明该系统发生了异常磨损可能导致故障的发生.利用光阻法设计并制作了微流控油液颗粒检测芯片搭建了简单有效的光学检测系统并经信号放大和数据采集实现了对微小颗粒的检测最后通过Java 编程实现了对粒径大于20 ＆m颗粒进行计数.对25 - 38 ＆m的铁颗粒进行快速检测的结果表明系统的检测性能良好证明方法是可行的.