随着纳米技术研究的进一步深入，对其研究工具SPM的精度已提出了更高的要求。文中针对这一课题，提出了基于DSP的数字扫描探针显微镜的硬件解决方案。该方案和以往基于PCI的SPM的系统相比，无论是在数据处理速度，还是在扫描精度或性能上都有明显提高．其发展空间和应用前景十分广阍。