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> 臧甲鹏
高衍射效率全息光栅的制作与复制工艺研究
作者:
臧甲鹏
王朝阳
来源:
现代科学仪器
日期: 2022-08-28
人气:7974
本文根据正性光抗蚀的感光显影特性,推导出了全息光栅为槽深度公式,分析了影响光栅槽型结构的因素,建立了光栅沟槽模型。并根据论理论制作 为出衍射效率高达65%的2400线/毫米的全息平面反射光栅。本文还介绍了全息光栅复制技术,解决了高质量光栅昂贵的生产成本和大批量生产问题。
关键词:
正性光致抗蚀剂
光栅沟槽
衍射效率
光栅复制
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