为解决ZnO温度传感器测温精度和集成化的问题,设计了一套测量光谱范围为350~450 nm,分辨率为0.1 nm的光谱监测系统。通过合理地选择光学系统的结构、计算各光学元件的参数和光路结构以及消除系统像差,实现了光谱监测系统的窄波段、高分辨率的要求。最终结果显示系统的体积为111 mm×83 mm×30 mm,基本满足系统可集成化的要求,可以做进一步的优化,公差分析使之满足加工需求。

利用光学力来驱动微型器件是一种新型MEMS驱动方式.在几何光学模型近似下,对用TEM00高斯激光束驱动微型螺旋桨结构的光驱动力和力矩进行了理论计算.光驱动力矩与激光功率成正比,和微器件的结构尺寸以及微器件与工作介质的相对折射率等因素有关,设计微器件时必须同时考虑这三个因素.计算得出激光功率10mW时,作用在螺旋转子上的光学驱动力矩为7.4×10-17 N(m,和文献中实验结果基本一致.该方法可以应用在复杂三维微结构的光驱动计算中,对微型转子进行优化设计.