近场扫描光学显微术中，近场距离的检测和控制是需要解决的核心技术之一，本文研究了基于DDS驱动的压电传感器，在一个压电陶瓷片上，电极被分成相同的两部分，分别用于振动驱动和振幅检测，近场扫描的光纤探针固定于此压电陶瓷片上，振动驱动信号采用DDS，在样品的远场时，可以通过频率扫描得到误差在0.006Hz以内的压电陶瓷片谐振频率驱动信号，而当光纤探针处于样品的近场距离之内时，压电陶瓷片的谐振频率偏离驱动信号频率，振幅明显减小，从而检测出近场距离，高精度振动驱动源DDS和高灵敏度压电传感器的采用提高了检测灵敏度和工作稳定性。