在λ＝２８．５ｎｍ波长处，我们选择了一种新的多层膜材料对Ｃ／ＡＩ。正入射Ａ／ＡＩ多层膜在１５．０ｎｍ附近有很低的二级衍射峰。磁控溅射法制备的Ｃ／ＡＩ多层膜样品，用Ｘ射线小角衍射法对其结构进行了测试，并测得Ｃ／ＡＩ软Ｘ射红多层膜的正入以射率２２％±４％。