介绍了用石英晶体膜厚控制仪全自动生产光学干涉滤光片的系统结构、镀膜参数和主要结果.讨论了通过改进离子辅助镀膜工艺提高TiO2薄膜折射率稳定性对于应用石英晶体膜厚监控技术的重要性.