介绍了纳米计量溯源到国际基本单位制（SI）的传递过程。回顾了国内外计量型扫描探针显微镜（Scanning Probe Microscope，SPM）的工作原理及其溯源性。论述了目前主要纳米计量参数、溯源用标准样本的研究概况。