为了解决制备空心微针工艺复杂且成本高的问题，本文提出了采用湿法刻蚀、光刻和电镀结合的方法制备低成本空心金属微针．首先采用湿法刻蚀硅，得到280μm深的倒四棱锥锥坑；然后在锥坑上甩200μm厚的负胶SU-8填充锥坑，并通过曝光显影负胶形成微针的形貌；最后在曝光显影后的负胶上电镀50μm厚的镍得到所需形状的空心金属微针．用此方法制备的空心微针高度为350μm、壁厚为50μm，其针尖形状为三棱锥和四棱锥．通过有限元仿真分析微针强度与微针结构尺寸的关系．用此方法加工出的微针具有锥形尖，改善了刺入皮肤的效果．

提出了一种聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）微针阵列的微细加工工艺，即移动X光光刻在光刻胶上得到与LIGA掩模板图形相似的曝光能量分布图，再利用显影技术获得了其断面形状与LIGA掩模板图形相似的PMMA微针阵列结构．为了解决空心微针阵列的加工问题，通过对准曝光实现空心孔的微细加工．用此纳米加工技术获得了高度为350～700μm、针锋尖锐度为1μm的PMMA的微针阵列．该阵列面积约为1cm^2，微针数约为900根，实验结果表明，利用这种新方法可以非常方便地加工出高质量的实心微针、空心微针和带流体沟道的分又微针等各种微针．该微针阵列可与微泵、微通道等集成为一体，实现无痛化注射或无痛化采血。

MEMS微针是目前的一个研究热点,是实现无痛给药、抽血和生化检验集成化的关键.本文探讨了MEMS微针的研究进展,给出了MEMS微针的研究结果,讨论了MEMS微针在实际中应用还应解决的关键问题.