介绍了传统给药方式的局限性、微针应用于新的药物传输方式——透皮给药的优点以及微针的特点,并提出了一种基于微机电系统技术制作同平面金属微针的方法.采用该方法可制备实心微针和空心微针.这两种金属微针均采用电镀技术制作,既降低了成本又提高了微针的强度.微针为楔形,边缘比较光滑,针尖有较锋利的尖端,改善了刺入皮肤的效果;针体长度400μm,厚度50μm,其中空心微针中的微流道宽度为50μm.此类微针便于改变尺寸以满足不同的需要.用该微针进行了刺入鼠皮的实验,验证了该微针刺入皮肤的有效性.

为了解决制备空心微针工艺复杂且成本高的问题，本文提出了采用湿法刻蚀、光刻和电镀结合的方法制备低成本空心金属微针．首先采用湿法刻蚀硅，得到280μm深的倒四棱锥锥坑；然后在锥坑上甩200μm厚的负胶SU-8填充锥坑，并通过曝光显影负胶形成微针的形貌；最后在曝光显影后的负胶上电镀50μm厚的镍得到所需形状的空心金属微针．用此方法制备的空心微针高度为350μm、壁厚为50μm，其针尖形状为三棱锥和四棱锥．通过有限元仿真分析微针强度与微针结构尺寸的关系．用此方法加工出的微针具有锥形尖，改善了刺入皮肤的效果．