表面三维形貌的评定是表面计量学中的一个重要课题。本文在一般表面的数学模型的基础上提出了一组表面三维形貌参数,并利用相应的测量与处理系统实测了多种典型加工表面。文中列举了实测结果并将轮廓参数与三维形貌参数进行了比较。

介绍了一种非接触式的表面三维形貌测量系统，该系统采用了光学离焦原理中的象散法，从激光束光学中简洁的ＡＢＣＤ定律出发，分析并获得了系统的特性曲线，这比采用几何光学方法得到的结果更实际情况。